Logi sisse et näha seda üksust teistes keeltes
Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
Looja
- Europeana
- Schäffel, Christoph
- Michael, S.
- Paris, R.
- Frank, A.
- Zeike, N.
- Gastinger, K.
- Kujawinska, M.
- Zeitner, U.
- Beer, S.
Kirjastus
- TU Ilmenau, Ilmenau
Üksuse liik
- literature
Kuupäev
- 2011
- 2011
Looja
- Europeana
- Schäffel, Christoph
- Michael, S.
- Paris, R.
- Frank, A.
- Zeike, N.
- Gastinger, K.
- Kujawinska, M.
- Zeitner, U.
- Beer, S.
Kirjastus
- TU Ilmenau, Ilmenau
Üksuse liik
- literature
Kuupäev
- 2011
- 2011
Pakkuja institutsioon
Agregaator
Selles üksuses sisalduva meedia õiguste avaldus (kui pole teisiti märgitud)
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/
Õigused
- http://www.dmg-lib.org/dmglib/main/portal.jsp?mainNaviState=site.oairights
Identifikaator
- dmg:29452009
- http://www.dmg-lib.org/dmglib/handler?docum=29452009
Keel
- en
Seosed
- Ilmenau University of Technology, Germany
Aasta
- 2011
Pakkuja riik
- Europe
Kollektsiooni nimi
Esimest korda avaldati Europeana
- 2013-11-25T17:01:28.339Z
Viimati andmeid pakkuvast institutsioonist uuendatud
- 2013-11-25T17:01:28.339Z